1963年3 月出生。1992年在美国斯坦福(Stanford)大学获得博士学位。1992年到1995年在佛罗里达理工学院任教。1995年到2001年任美国Wayne州立大学机械工程系和制造研究所终身教职，电子封装实验室主任。
2004年5月到任华中科技大学特聘教授、机械科学与工程学院微系统研究中心主任。2002年5月到2006年受聘为科技部微机电系统重大专项总体专家组成员。2006年11月受聘为科技部半导体照明重大项目总体专家组成员。2009年当选为ASME Fellow。2013年当选为IEEE会士。2014年1月受聘武汉大学动力与机械学院院长， 2017年受聘武汉大学工业科学研究院执行院长 ，2020年受聘武汉大学微电子学院副院长 。2023年当选中国科学院院士。
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